Triclorosilano

Il triclorosilano (TCS, SiHCl₃, CAS 10025-78-2) è un liquido incolore, altamente volatile, con un odore acuto e soffocante di cloruro di idrogeno. Bollendo a 31,8 gradi e reagendo violentemente con l'umidità, è la materia prima fondamentale per il processo Siemens di produzione di polisilicio ad elevata purezza-per celle solari fotovoltaiche e wafer semiconduttori. Il TCS è anche ampiamente utilizzato nella crescita di wafer epitassiali di silicio, nella sintesi di organosilicio (oli di silicone, gomme, resine, agenti accoppianti), nella deposizione di film sottile di silicio CVD e come agente riducente selettivo nella sintesi organica. Disponibile in grado industriale (maggiore o uguale al 99,0%) e grado elettronico (purezza fino a 9N). Classificato come idroreattivo e altamente infiammabile (ONU 1295, Classe 4.3+2.3, PG I) con un raggio d'azione esplosivo estremamente ampio compreso tra 1,2% e 90,5%; maneggiare solo in condizioni rigorosamente anidre con protezione di azoto secco.